真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空氣淬爐。
真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用的材料范圍廣、淬透性強、成本低、淬火油可重復使用。不足之處有；變形量相對要大一些，工件后續需要清洗。真空油淬爐從結構上可分為雙室爐和三室爐等。
真空高壓氣淬爐適用于高速鋼、不銹鋼、模具鋼等一些淬透性比較好的材料的真空熱處理，特點是零件變形量小、零件熱處理后不需要清洗。不足之處有淬火氣體不能回收、成本較高。真空高壓氣淬爐從結構上可分為臥式和立式兩種。臥式可分為單室、雙室和三室等。立式的適用環形狀、筒狀和長桿狀零件的熱處理。真空高壓氣淬爐淬火壓力一般為2b a r～10b a r。根據用戶的需要可選擇零件適用于壓力的爐型。
真空回火爐可分為單室、雙室和立式等一般采用鎳鉻帶加熱zui高溫度為800℃。真空回火爐一般適用要求回火后零件表面光亮、沒有氧化色。
真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐根據零件材料可選擇中高溫和低溫。